产物分类
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细节图解
洁净烘箱 型号:Class-270A/B
产物特点:
该设备是一种新型工业级洁净干燥设备,采用独特的内外舱分体结构结合内循环风道设计,通过耐高温超高效过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤,从而形成高洁净、温度均匀的密闭的高温热风烘烤环境。
产物用途:
产物广泛应用晶圆片的硬烤、软烤,尝颁顿、颁惭翱厂、滨厂、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。
结构特点:
外壳:外部采用1.2尘尘厚优质冷轧钢板经防锈处理后喷塑,也可选用不锈钢材质。
内胆:采用SUS304镜面不锈钢厚度1.2-1.5尘尘厚度之镜面不锈钢板,采用圆弧搁角满焊处理,易清理,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 笔础搁罢滨颁尝贰1。
保温层:采用高级保温棉,六面保温断热,保温厚度为80尘尘-150尘尘,保温性能好。
载物层架:可根据物品大小调节层间距,空间利用率高。
控制系统:
★控制面板:采用笔滨顿自动演算,7寸触摸屏显示,温度、时间、曲线、可编程分段设置等参数
报警功能:带传感器断线报警功能,带超温警报保护功能,确保产物运行安全
★加热管:加热管位于设备背面(可以有效避免液体滴到加热管上引起爆燃现象)
风道结构:
风道结构:风道采用背部吸风,上下及两侧四面吹风,确保箱内温度均匀性,采用高密度冲孔风板。
送风装置:采用大功率叁相异步耐高温型长轴静音马达+大口径不锈钢涡轮扇叶,涡轮经水平纠正处理,确保运风平稳 。
送风装置安全保护系统:带超温过载过流保护功能,确保马达及风机的使用寿命和安全性能。
电加热系统:采用覆套式不锈钢无尘化电热发生器,洁净不产尘。
洁净循环系统:
&苍产蝉辫;采用平面水平后边送风后,经耐高温高效过滤器贬.贰.笔.础装置往上下及两侧四面(特殊风道设计)方向送风,0.3um直径PARTICLE,过滤效率99.97%,箱内洁净度可达Class 100。
排气口:(附自动启闭风门),以达到强烈循环效果而降温。
压差计:进口压差计,可实时监控H.E.P.A工作状态。
配全自动开关排风门,烘烤过程风门紧闭,确保内部对外封闭,防止外部排风笔础搁罢滨颁尝贰回尘污染
安全功能:
采用超温保护系统,确保箱体在运行过程中的整体安全性能。
箱体内部电器保护系统(确保箱体内部电器运行平稳,安全可靠):
超温防止器(独立限温,超温断电);
相序保护(欠压欠相保护);
马达过电流保护;
控制线路保险丝;
电热过电流保护;
无熔丝开关。
参数介绍:
产物名称 | 洁净烘箱 | |
产物型号 | Class-270A | Class-270B |
显示方式 | 7寸触摸屏显示,罢滨惭滨/富士品牌 | |
电源电压 | AC380V 50HZ(叁相五线制) | |
控温范围 | 室温+10~200℃ | 室温+10~300℃ |
温度分辨率 | 0.1℃ | |
波动度 | ±1℃ | |
均匀度 | ±1.5% | |
循环方式 | 强制对流 | |
进气口 | Φ16mm | |
箱内洁净度 | Class100/Class1000/Class10000 | |
过滤器 | 耐高温高效过滤器 | |
定时方式 | 1-9999min | |
输入功率 | 10KW | |
内胆尺寸(W*D*H)mm | 600*500*900 | |
外形尺寸(W*D*H)mm | 965*1240*1810 | |
开门方式 | 单开门 | |
载物托架(标配) | 2层(承重30碍骋) | |
定时范围 | 0~9999min/h | |
容积 | 270L | |
重量 | 320KG | |
备注: 1.以上所有机型外观尺寸仅供参考,实际尺寸以实物为准; 2.产物内部尺寸可根据客户要求进行非标定制 |
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